| Sensor: | Sensor kontur tipe digital & Sensor kekasaran tanpa kepala standar | perangkat lunak: | Sistem pengukuran kontur CMS & pengukuran kekasaran permukaan RMW dan sistem analisis |
|---|---|---|---|
| Pemohon: | Bantalan lengan artikulasi, kristal germanium kelas optik, cincin segel, segel Turbo, dll | Akurasi kontur: | ±2´ |
| Kekasaran: | Rsk,Rku,Rsm,Rsm,Rs,RΔq,Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,Rmr | Panjang peringkat: | cX2,3,4,5,6,7 |
| Sumbu x: | 0,1~10 mm/dtk | Z-AXIS: | 0,5-10mm/detik |
| Menyoroti: | 10mm/s Alat Ukur Kontur,Rsk Alat Ukur Kontur Kekasaran,Rku Alat Ukur Kekasaran |
||
| Spesifikasi | PR1103G-sdk |
|---|---|
| Jarak Pengukuran sumbu X | 100 mm |
| Jangkauan Pengukuran sumbu Z | 320mm |
| Jangkauan pengukuran sumbu Z1 | C:±12,5mm/R:±420μm |
| Keakuratan Kontur Z1 Keakuratan Linear | ± 1,5 + 0,5 + 0,2 °C |
| Keakuratan busur | ±(2+R/8) μm |
| Keakuratan Sudut | ±2′ |
| Kejujuran | 0.8μm/100mm |
| Ketebalan Keakuratan Keakuratan linier | ± 4% |
| Kebisingan Sisa | ≤ 0,02 μm |
| Nilai Ganda | 1δ≤2nm |
| Panjang gelombang pemotongan | 0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8mm |
| Panjang Rating | λcX2,3,4,5,6,7 |
| Kecepatan drive sumbu X | 0.1~10mm/s |
| Kecepatan drive sumbu Z | 0.5-10mm/s |