| Nama Produk: | Sistem Pengukuran Interferometer Laser SJ6000 | Rentang pengukuran linier: | 0~80m |
|---|---|---|---|
| Resolusi: | 1nm | Akurasi frekuensi laser: | 0,05ppm |
| Suhu pengoperasian:: | (0-40)℃ | Tingkat tangkapan dinamis:: | 50kHz |
| Menyoroti: | Interferometer Laser Frekuensi Tunggal,Perangkat Pengukur 0,05ppm |
||
Interferometer laser dikenal sebagai metode pengukuran presisi tinggi dan sensitivitas tinggi yang menggunakan panjang gelombang cahaya sebagai kriteria, banyak digunakan dalam domain manufaktur kelas atas. Sistem interferometer laser SJ6000 dilengkapi generator laser Helium-Neon frekuensi tinggi dari pemasok AS, modul kompensasi lingkungan presisi tinggi, pemrosesan sinyal interferensi laser canggih, dan sistem kontrol komputer berkinerja tinggi.
Memanfaatkan teknologi stabilisasi frekuensi termal mode laser dual-longitudinal dan desain jalur optik interferensi parameter geometris, SJ6000 menghasilkan output laser yang stabil dan presisi tinggi (0,05ppm) jangka panjang dengan cepat (sekitar 6 menit) dengan kinerja anti-interferensi yang kuat. Dengan modul prisma yang berbeda, dapat mengukur linearitas, sudut, kelurusan, kerataan, tegak lurus, dan menganalisis karakteristik dinamis.
| Parameter | Spesifikasi |
|---|---|
| Metode pengukuran | Frekuensi tunggal |
| Akurasi frekuensi laser | 0,05ppm |
| Tingkat penangkapan dinamis | 50kHz |
| Waktu pemanasan | Sekitar 6 menit |
| Suhu pengoperasian | (0-40)℃ |
| Kondisi lingkungan | Suhu: (0-40)℃, Kelembaban: 0-95% |
| Suhu penyimpanan | -20℃ hingga 70℃ |
| Jenis Sensor | Spesifikasi |
|---|---|
| Sensor suhu atmosfer | ±0,1℃ (0-40)℃, resolusi: 0,01℃ |
| Sensor suhu bahan | ±0,1℃ (0-40)℃, resolusi: 0,01℃ |
| Sensor kelembaban atmosfer | ±5% (0-95%) |
| Sensor tekanan atmosfer | ±0,1kPa (65-115)kPa |
| Parameter | Spesifikasi |
|---|---|
| Rentang pengukuran | (0-80)m |
| Akurasi pengukuran | 0,5ppm (0-40)℃ |
| Mengukur resolusi | 1nm |
| Kecepatan pengukuran maksimum | 4m/s |
| Parameter | Spesifikasi |
|---|---|
| Rentang aksial | (0-15)m |
| Rentang pengukuran | ±10° |
| Ketepatan | ±(0.02%R+0.1+0.24M)″ (R menunjukkan nilai, satuan: ″; M diukur panjang dalam m) |
| Mengukur resolusi | 0,1″ |
| Parameter | Spesifikasi |
|---|---|
| Rentang aksial | (0-15)m |
| Rentang pengukuran kerataan | ±1,5 mm |
| Ketepatan | ±(0,2%R+0,02M²)μm (R menunjukkan nilai dalam μm; M adalah panjang yang diukur dalam m) |
| Ukuran substrat | 180mm dapat disesuaikan, 360mm dapat disesuaikan |
| Mengukur resolusi | 0,1μm |
| Jenis | Rentang Sumbu | Rentang Pengukuran | Ketepatan | Resolusi |
|---|---|---|---|---|
| Kelurusan yang pendek | (0,1-4)m | ±3.0mm | ±(0,5+0,25%R+0,15M²)μm | 0,01μm |
| Lurus panjang | (1-20)m | ±3.0mm | ±(5,0+2,5%R+0,015M²)μm | 0,01μm |
| Jenis | Rentang Sumbu | Rentang Pengukuran | Ketepatan | Resolusi |
|---|---|---|---|---|
| Kelurusan yang pendek | (0,1-3) m | ±3.0mm | ±(2,5+0,25%R+0,8M)μm/m | 0,01μm |
| Lurus panjang | (1-15)m | ±3.0mm | ±(2,5+2,5%R+0,08M)μm/m | 0,01μm |