| Nama Produk: | Sistem Pengukuran Interferometer Laser SJ6000 | Rentang pengukuran linier: | 0~80m |
|---|---|---|---|
| Resolusi: | 1nm | Akurasi frekuensi laser: | 0,05ppm |
| Suhu pengoperasian:: | (0-40)℃ | Tingkat tangkapan dinamis:: | 50kHz |
| Menyoroti: | Sistem Pengukuran Interferometer Laser 0,05ppm,Sistem Pengukuran Interferometer Laser 1nm |
||
Laser interferometry diakui sebagai metode pengukuran yang sangat sensitif dan presisi tinggi yang menggunakan panjang gelombang cahaya sebagai kriteria, yang banyak digunakan dalam manufaktur kelas atas.Sistem interferometer laser SJ6000 menggabungkan generator laser Helium-Neon frekuensi tinggi dari pemasok AS, modul kompensasi lingkungan presisi tinggi, pemrosesan sinyal interferensi laser canggih, dan sistem kontrol komputer berkinerja tinggi.
Menggunakan teknologi stabilisasi frekuensi termal dengan mode laser dual-longitudinal dan desain jalur optik interferensi parameter geometris, SJ6000 memberikan stabil jangka panjang,presisi tinggi (0.05ppm) output laser dalam waktu sekitar 6 menit, dengan kinerja anti-interferensi yang kuat.dan menganalisis karakteristik dinamis.
| Parameter Sistem | Sensor Lingkungan |
|---|---|
|
Metode pengukuran:Frekuensi tunggal Keakuratan frekuensi laser:00,05 ppm Tingkat penangkapan dinamis:50 kHz Waktu pemanasan:~ 6 menit Suhu operasi:0-40°C Lingkungan:0-40°C, kelembaban 0-95% Suhu penyimpanan:-20°C sampai 70°C |
Suhu atmosfer:± 0,1°C (0-40°C), resolusi 0,01°C Suhu bahan:± 0,1°C (0-40°C), resolusi 0,01°C Kelembaban atmosfer:± 5% (0-95%) Tekanan atmosfer:± 0,1 kPa (65-115 kPa) |
| Pengukuran linier | Pengukuran Sudut |
|---|---|
|
Jangkauan pengukuran:0-80m Keakuratan pengukuran:00,5 ppm (0-40°C) Resolusi:1nm Kecepatan maksimum:4m/s |
Jangkauan sumbu:0-15m Jangkauan pengukuran:± 10° Keakuratan:± ((0,02%R+0,1+0,24M) " Resolusi:0.1′′ R = nilai yang menunjukkan (′′), M = panjang yang diukur (m)
|
| Pengukuran rata | |
|---|---|
| Jangkauan sumbu:0-15m | Jangkauan pengukuran:± 1,5 mm |
| Keakuratan:± 0,2%R+0,02M2) μm | Resolusi:0.1 μm |
| Ukuran substrat:180mm diatur, 360mm diatur | |
|
R = nilai indikasi (μm), M = panjang yang diukur (m)
|
|
| Pengukuran tegak lurus | Kejujuran Singkat | Kejujuran Panjang |
|---|---|---|
| Jangkauan sumbu | 0.1-4m | 1-20m |
| Jangkauan pengukuran | ± 3,0mm | ± 3,0mm |
| Keakuratan | ± ((0.5+0.25%R+0.15M2) μm | ± 5,0 + 2,5%R + 0,015M2) μm |
| Resolusi | 00,01 μm | 00,01 μm |
|
R = nilai indikasi (μm), M = panjang yang diukur (m)
|
||
| Pengukuran perpendikularitas | Kejujuran Singkat | Kejujuran Panjang |
|---|---|---|
| Jangkauan sumbu | 0.1-3m | 1-15m |
| Jangkauan pengukuran | ± 3,0mm | ± 3,0mm |
| Keakuratan | ± 2,5+0,25%R+0,8M) μm/m | ± 2,5+2,5%R+0,08M) μm/m |
| Resolusi | 00,01 μm | 00,01 μm |
|
R = nilai indikasi (μm), M = panjang yang diukur (m)
|
||